根据大型电子工业洁净厂房的特点和生产工艺要求，在保障生产效率和生产安全的同时，研究防火设计措施。综合考虑人员分布、气体化学品物料储存和使用、围护构件设计以及装修材料等方面因素，确保电子工业洁净厂房的消防安全。
1、提高建筑构件耐火极限
厂房建筑的耐火等级应为一级，在满足 GB 50016-2014 《建筑设计防火规范》（以下简称“建规”）第3.2.1条规定的建筑构件耐火极限的基础上可适当提高。
1）防火墙、防火隔墙采用200mm加气混凝土砌块材料，防爆区隔墙采用现浇钢筋混凝土墙体。
2）楼板采用150mm钢筋混凝土现浇整体式梁板。
3）钢柱、钢梁、钢桁架均采用厚涂型防火涂料保护。在屋顶钢结构下方设置50mm岩棉夹芯板，下部外露部分钢结构采用镀锌钢板覆盖保护。
4）屋面采用内外镀锌钢板夹125mm玻璃棉，不用任何可燃材料。
5）各种管道通过管道井进入各层的生产设备，管道井壁采用防火墙，检查门采用甲级防火门。
6）厂房主体下层洁净室或辅助生产区的外墙采用加气混凝土砌块墙，有效防止下层火灾向上层蔓延。
2、防火分区按生产工艺确定
按“电洁规”第6.2.3条规定：丙类生产的电子工业洁净厂房的洁净室（区）每个防火分区的最大允许建筑面积可按生产工艺要求确定。半导体生产厂房1层设有辅助生产区，主要布置真空泵和尾气处理等工艺，为洁净室生产工艺服务。虽然没有高洁净度的要求，但工艺管道密集，设备安装精度要求高，难以划分多个防火分区，每个防火分区允许建筑面积也可结合生产工艺确定。
3、重点火灾危险部位的防火分隔
易燃化学品的储存和分配间、可燃有毒气体的储存和分配间、贴膜曝光间、蓝粉着色间等火灾危险性为甲、乙类的供应间和生产工段必须靠外墙布置，采用耐火极限不低于4.00h的防爆墙与厂房其他部位分隔，并设独立的安全出口。避免甲、乙类的供应间和生产工段的泄爆口对安全疏散和灭火救援的影响。真空泵和尾气处理装置等工艺装置可采用耐火极限不低于2.00h的加气混凝土砌块墙和甲级防火门分隔为防火单元。
4、排除烟和热的措施
4.1灭火救援窗排除烟和热
洁净厂房生产的密闭性要求高，洁净室为无窗房间，火灾案例中反映出仅设置机械排烟系统不能满足火灾中排烟排热的需求。为在火灾初期不影响机械排烟，又能在火灾规模较大后及时排出烟和热，设置便于开启的固定窗，既可作为灭火救援窗，又可在排烟过程中导出热量，防止建筑物在高温下出现倒塌等恶劣情况，为火灾扑救提供较好的内攻条件。设置要求如下：
1）灭火救援窗间距不宜大于20m，设有明显标志。
2）灭火救援窗可设置双层，外侧为可击碎固定窗，内侧为夹芯板电动门，电动门可手动、远程和热熔断控制开启。
3）灭火救援窗应避开易燃易爆房间的泄爆面。
4.2自然通风竖井排除烟和热
厂房建筑跨度大（超过300m），仅外墙设置灭火救援窗难以满足火灾中建筑中部排烟排热的需求，可在建筑中部适当位置设置具有一定截面积的自然通风竖井。竖井风口常闭以保证生产环境的密闭性，各层自然通风竖井独立设置，竖井风口同时具备手动、远程、280 ℃熔断等几种开启方式，当火灾规模较大时，机械排烟系统停止工作后，可开启竖井风口排出烟和热。
5、加强工艺排风防火保护
火灾时工艺排风系统要持续运行，应加强工艺排风系统防火保护。一是风管采用不锈钢材质，当排除酸性和腐蚀性气体需要采用PVC等防腐蚀的难燃材质时，风管内部设置湿式自动喷水灭火系统保护（采用铜质喷头表面石蜡保护）;二是排风管穿防火墙或防火隔墙、楼板时，设置2m宽的防火隔离带和两侧分别设置支架;三是工艺排风管宜采用独立竖井或在共用竖井内采取防火分隔措施。厂房洁净室（区）设置紧急排风系统，紧急排风换气次数按不小于12次/h 确定，火灾时联动启动紧急排风系统。
6、增设高压细水雾喷枪
厂房内设置室内消火栓栓口65mm、压力0.35MPa，一般人员操作比较困难。火灾初期的控制非常重要，可增设高压细水雾喷枪，保护半径不宜大于50m。一是高压细水雾不仅具有强烈的冷却降温及汽化窒息作用，还具有对烟雾、废气的洗涤作用，降烟洗尘性强，可直接对准火源进行灭火，喷雾强度大，达到快速灭火的目的；二是单人可轻松操作，灭火时只需要握紧枪托，对准火源扣动开关手柄即可进行灭火，后坐力很小；三是灭火范围大，扩散喷雾灭火方式喷射距离大于8m，直流喷射灭火方式喷射距离大于12m。